芯源微：公司前道涂膠顯影設(shè)備已完成在晶圓加工環(huán)節(jié)28nm及以上工藝節(jié)點(diǎn)全覆蓋

2023-07-31 15:04:23來源：界面新聞

芯源微7月31日在互動平臺表示，公司已經(jīng)掌握包括涂膠顯影設(shè)備、單片式

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芯源微7月31日在互動平臺表示，公司已經(jīng)掌握包括涂膠顯影設(shè)備、單片式濕法設(shè)備等產(chǎn)品多項核心技術(shù)，并形成了完善的自主知識產(chǎn)權(quán)。公司前道涂膠顯影設(shè)備已完成在晶圓加工環(huán)節(jié)28nm及以上工藝節(jié)點(diǎn)全覆蓋，并可持續(xù)向更高工藝等級迭代。

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